裏面チャックの再生は接触面を鏡面に研磨することにより再生します。パーティクル洗浄は接触面のパーティクルを特殊洗浄により１００個以下にします。問い合わせは (有)コスモテック 0263 57 9663 まで
| 再生するメリット | パティクル洗浄するメリット | 表面チャックの再生 | その他の部品 |
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１ コスト削減 年間９，０００，０００円 ／ 装置５台で
新品裏面チャックの価格と再生研磨の価格差約１３万円〜１５万円のコスト削減
２ ゴミの削減
再生研磨することによりゴミ削減率 １／５ となります。
パーティクル軽減洗浄のメリット 年間 ３２，６００，０００円の削減
１ コスト削減
ダミーＷＦを大幅に削減できる。 １Ｗ、２００枚として ２００Ｘ３，０００円Ｘ２チャンバー＝１，２００，０００円の削減
２ 稼働率向上
ダミーＷＦを流す間の稼働率向上 約３時間
３ ゴミの削減
ダミーＷＦを裏面チャック交換時毎、４００枚の削減
高温ポリシリコンＴＦＴ液晶ＣＭＰ用裏面チャックのパーティクル軽減洗浄
裏面チャックの再生にはプラスチックの鏡面研磨が必要です。研磨するとパーティクルが付きます。
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表面状態
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| 研磨前の表面状態 | |
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| 研磨後の表面状態 |
更なるパーティクル削減のための下記のようなチャックを開発いたしました。
この商品のメリットは
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| この商品は実績があり、確認が取れています。 |
石英の接触面を鏡面にしておかないと
プラスチックは一般的に鏡面研磨できないと言われています。私も別件で挑戦しました。ウエスに研磨剤を塗布し、何時間も格闘しましたが、鏡面にはなりませんでした。依頼を受けた商品を返却しました。
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