高温ポリシリコンＴＦＴ液晶
　　　　　　ＣＭＰ用裏面チャックのパーティクル軽減洗浄　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　二年かけて開発しました。その結果
　１　接触面のパーティクルを　１／50　（0.5μ以下パーティクル３０００個を１００個以下）
　　　以下にすることに成功いたしました。
　　　御社様は入荷後すぐに装置を稼動できます。
　２　接触面を鏡面研磨しました。　これによりチャックの再利用できるようになります。

　　　洗浄と再生、画期的効果を約束します
御社様の経費節約、歩留まりの改善、稼働率の向上にお役立ていたします。

ＣＭＰ１台あたりの年間経費削減　　１千万円　以上
更に稼働率向上
歩留の改善
信頼性の向上

　　　　高温ポリシリコンＴＦＴ用のＣＭＰ用裏面チャックを再研磨し、パーティクル軽減洗浄（パーティクル数１００個以内）てしお納めいた　　　　　します。（通常２０００個以上）
　　　　装置に装着してそのまま稼動できます。

　特徴　
　　　　　　　◎　　品質の向上、歩留の改善
　　　　　　　　　　液晶裏面のパーティクル汚染を極限まで減らします。
　　　　　　　　　　　　０．５ミクロン以下のパーティクル数　３，０００個→１００個以下に
　　　　　◎　　稼働率の改善
　　　　　　　　　裏面チャックを装着してすぐに稼働可能です
　　　　　○　　ダミーを必要としないことによる経費削減
　　　　　　　　　パーティクル削減のため２００枚～３００枚のダミー石英を必要としません。
　　　　　△　　裏面チャックの再利用による経費削減　　
　　　　　　　　　　　　　裏面チャック研磨再利用でする事による経費削減ができます。　　

　　特殊洗浄に付いての説明

　　　　　　　△　裏面チャックの液晶接触部分を再研磨し、鏡面状態にします。これによりチャックの再利用が可能です。
　　　　　　　　　　　研磨前と研磨後のテーターを参考にしてください。
　　　　　　　　　　　これにより、裏面チャックの再利用が可能です。
　　　　　　　◎　第二回のパーティクル洗浄。（研磨後の通常洗浄でパーティクル３，０００以上）を
　　　　　　　　　　　第二回目の洗浄でパーティクルを１，０００個以下にします。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（パーティクルは０．５ミクロン以下）
　　　　　　　◎　第三回目のパーティクルけい洗浄１００個以下にします。
　　　　　　　　　　　　１，０００以下のパーティクルを１００個以下にします。
　　　　　　　　　　　　専用容器に入れて納品いたします
　　　　　　　　　　　　ただし、パーティクル数の保障はできません。
　　　　　　　　　　　　新品でもこの洗浄により効果を発揮できます。

　　　プラスチックの表面研磨
　　　
　　　　　プラスチックは鏡面研磨鏡面研磨できないとされています。
　　　　　　１　砥石を使用すると砥石の隙間にプラスチックの研磨粉が入り込み砥石が使用できなくなる。
　　　　　　２　プラスチックは柔らかなので、研磨すると高温になった部分が塊として取れるため、
　　　　　　　　金属のように鏡面が出ないと言われます。
　　　　　　　　別件で挑戦しました。
　　　　　　　　テフロンを鏡面研磨の依頼があり、挑戦いたしました。研磨剤を使用したり、材料を変えたりしてしてみま　　　　　　　　鏡面まではいきませんでした。
　　　　　　　　研磨専門の会社に相談し、色々な材料を試しましたが、惨敗でした。（異型のため手作業）

　　　　　これを使用可能の状態に鏡面研磨いたしました。
　　　　　　　　下記のデーターをご覧ください。　　　　　

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　研　磨　前　表　面　状　態
　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　

　　最も重要なパーティクル低減洗浄
　　　　第一回目のパーティクル洗浄　
　　　　　　　研磨後の洗浄で研磨くず等を取り除き裏面チャックとして十分に使用できる状態にします。
　　　　　　　一般的なパーティクルはもちろ穴内部の洗浄も十分に行ないます。
　　　　　　　この状態でパーティクル数おおよそ２，０００～３，０００程度

　　　　第二回目のパーティクル洗浄
　　　　　　　パーティクルを大きく削減するのが目的ですが、単に超音波洗浄だけでは削減できませんので、独自の方法による洗浄を
　　　　　　　行ないます。
　　　　　　　第三回目の洗浄のための予備洗浄でもありますが、この洗浄だけでも新品の状態よりパーティクルを少なくします。
　　　　　　　パーティクル数　１，０００以下

　　　　第三回目のパーティクル洗浄
　　　　　　　お勧めの状態です。
　　　　　　　更にパーティクルを減らすため独自の洗浄方法により目的を達します。
　　　　　　　ここではパーティクル数を１００個以下にすることを目的とします。
　　　　　　　接触面積も大きく影響しますが、メーカー仕様の商品での数値を目的としております。
　　　　　　　実測地は５０個程度までの数値が出ております。
　　　　　　　パーティクル数　１００以下
　　　　　　　（パーティクルカウンターがありませんので、１００個以下を目標にしますが、保証値ではありません。）

新型チャック
パーティクル削減のための、接触面積を小さくし、　　　　　　洗浄し易くした商品を開発いたしました。　　　　　　カーボンピーク材で、温度変化等による歪および　　　　　　経年変化対策を十二分に施しておりますので安心して　　　　　　使用できます。　　　　　　この商品の使用実績もあり、評価を終了しております。　　　　　　ぜひ、お確かめください。

　　裏面チャックの簡単な研磨洗浄フロー

　　　　受け入れ　　　　受け入れ検査（傷等の状態を確認します）　　鏡面研磨　　　研磨後の洗浄　
　　
　　　　第一回目のパーティクル洗浄　　　　超音波洗浄　　　　　第二回目のパーティクル洗浄　　　

　　　　超音波洗浄　　　　第三回目のパーティクル洗浄　　　　　シャワーリング　　　　クリーンブース内での梱包

　　　　　　　出荷

梱包

　　　　チャック部分を汚染させないように接触部分を浮かせた状態で梱包します。
　　　　容器はパッキンが入っており、外気と遮断できます。
　　　　更にビニールにて二重梱包いたします。

表面研磨、パーティクル洗浄、梱包
　　　パーティクル洗浄には表面研磨、パーティクル洗浄、梱包、どれ一つ抜けても当初の目的は達成しません。
　　　御社様の経費節約、歩留まりの改善、稼働率の向上にお役立ていたします。

その他
　　表面チャックの再生

　　表面チャックを再生いたします。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

cosmos1@mhl.janis.or.j