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最も重要なパーティクル低減洗浄について
第一回目のパーティクル洗浄
研磨後の洗浄で研磨くず等を取り除き裏面チャックとして十分に使用できる状態にします。
一般的なパーティクルはもちろ穴内部の洗浄も十分に行ないます。
この状態でパーティクル数おおよそ2,000〜3,000程度
第二回目のパーティクル洗浄
パーティクルを大きく削減するのが目的ですが、単に超音波洗浄だけでは削減できませんので、独自の方法による洗 浄を行ないます。
第三回目の洗浄のための予備洗浄でもありますが、この洗浄だけでも新品の状態よりパーティクルを少なくします。
パーティクル数 1,000以下
第三回目のパーティクル洗浄
お勧めの状態です。
更にパーティクルを減らすため独自の洗浄方法により目的を達します。
ここではパーティクル数を100個以下にすることを目的とします。
接触面積も大きく影響しますが、メーカー仕様の商品での数値を目的としております。
実測地は50個程度までの数値が出ております。
パーティクル数 100以下
(パーティクルカウンターがありませんので、100個以下を目標にしますが、保証値ではありません。)
| 新型チャック | ![]() |
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| パーティクル削減のための、接触面積を小さくし、 洗浄し易くした商品を開発いたしました。 カーボンピーク材を使用することにより を静電気を防ぎます。 また、温度変化等による歪およ経年変化対策を 十二分に施しておりますので安心して 使用できます。 この商品の使用実績もあり、評価を終了して おります。ぜひ、お確かめください。 |
梱包
チャック部分を汚染させないように接触部分を浮かせた状態で梱包します。
容器はOリングがあり、外気と遮断できます。
更にビニールにて二重梱包いたします。
裏面チャックの簡単な研磨洗浄フロー
受け入れ
受け入れ検査(傷等の状態を確認します)
鏡面研磨
研磨後の洗浄 ![]()
第一回目のパーティクル洗浄
超音波洗浄
第二回目のパーティクル洗浄
超音波洗浄
第三回目のパーティクル洗浄
シャワーリング
クリーンブース内
での梱包 (専用容器使用)
出荷
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