１ 分解し、部品ごとに分類 
２ 金属類は湿式ブラストで洗浄
湿式ブラストの特徴３ プラスチック、Ｏリング接触部品は
手磨き４ ねじ類は新品と交換 ５ 洗浄後 プラスチック類、金属別々に
純水で超音波洗浄６ 乾燥
金属 １２０℃ ２時間
プラスチック ８０℃ ２時間７ 部品検査
寸法、傷等をチェック
お客様の基準値以下のものは交換８ 組み立て ９ 出荷検査
１０００Ｖデジボルで絶縁試験１０ 梱包出荷 検査終了、梱包前の状態 cosmos1@mhl.janis.or.j
| 商品一覧 | 発送方法 | 特定商取引に 基づく表示 |
その他の扱い商品
|
会社案内 | |||||||||
半導体製造装置部品の洗浄関係 有限会社コスモテック ＴＥＬ 0263 57 9663
１ 分解し、部品ごとに分類
２ 金属類は湿式ブラストで洗浄
湿式ブラストの特徴３ プラスチック、Ｏリング接触部品は
手磨き４ ねじ類は新品と交換 ５ 洗浄後 プラスチック類、金属別々に
純水で超音波洗浄６ 乾燥
金属 １２０℃ ２時間
プラスチック ８０℃ ２時間７ 部品検査
寸法、傷等をチェック
お客様の基準値以下のものは交換８ 組み立て ９ 出荷検査
１０００Ｖデジボルで絶縁試験１０ 梱包出荷 検査終了、梱包前の状態 cosmos1@mhl.janis.or.j
 |
 |
 |
|||
| 洗 浄 前 | 洗 浄 後 | 表 面 状 態 | |||
 |
cosmos1@mhl.janis.or.j |
イオンソースの洗浄に関してはこのページも参考にしてください
http://www.mhl.janis.or.jp/~cosmos/sinkubuhin/senjou-1.htm
セラミック部品の洗浄 洗浄フロー(PDF)
セラミックの表面に付着したデポブツは写真のように洗浄いたします。 もちろん絶縁は取れています。
蛍光エックス線での検査では「新品により近い」との評価も頂いております。
洗 浄 前 洗 浄 後 cosmos1@mhl.janis.or.j
ボロンナイトライトの洗浄 洗浄フロー(PDF)
ボロンナイトライトの洗浄は平成１７年３月末から開始予定です
洗 浄 前 洗 浄 後 
cosmos1@mhl.janis.or.j
ＴＥＯＳ配管、トラップの洗浄もお受けさせていただいた降ります。
裏面チャックの鏡面研磨とパーティクルゼロ洗浄 もっと詳しく
特徴
１ 表面を鏡面研磨いたします。鏡面研磨することにより再利用が可能です。
２ パーティクル軽減の洗浄をいたします。 通常洗浄ですとパーティクル数
１，０００個（０．５ミクロン以上のパーティクル）をこの洗浄により１００個
以下（実績50個以下）に削減洗浄いたします。
ただし保障をするものではありません。
このことから、
１ 装置の稼働率を上げることができます。
２ パーティクル低減のためのダミーウエハーの削減ができます。
３ チャックの再利用が可能になり、経費節約、ゴミ削減寄与します。
洗浄フロー
１ 接触面を鏡面研磨
２ 純水での超音波洗浄
３ 乾燥（８０℃、２時間）
４ パーティクル軽減洗浄
５ 超音波洗浄
６ 乾燥
７ パーティクル軽減梱包
８ 出荷
ただし、パーティクル数の保障は
できません。
特徴
低価格でお受けいたします。
現物があれば図面化して製作いたします。
金属、プラスチック等の複合品の加工もお受けしております。
設計からの製作もお受けしております
設計だけでもお受けしております。
カーボンピーク加工例
この商品はチャックに用されます。
経年変化でゆがみ等が生じないように
処理しております。
ご希望により、接触面を鏡面研磨および
パーティクル軽減処理もお受けいたします
ピーク加工例２
この商品は溶接技術および溶接方法が鍵です
先端部が経年変化によりだれてくるのをいか
に防ぐかが鍵になります。cosmos1@mhl.janis.or.j
拡 大 表 示
ステンレス加工例 １
 |
 |
| ステンレス加工例 ペデスタル | 加工例 カバーリング |
 |
 |
 |
| ドレンパン | ウエハーカセット | 塩ビケース |
インコネルの製作例
cosmos1@mhl.janis.or.j
こちらをご参考にしたください
